Anfahrt & Lageplan

Mit Bus und Bahn

Direkt auf dem Campus Nord befindet sich die S-Bahn-Station „Dortmund Universität“. Von dort fährt die S-Bahn-Linie S1 im 20- oder 30-Minuten-Takt zum Hauptbahnhof Dortmund und in der Gegenrichtung nach Solingen über Bochum, Essen, Duisburg und Düsseldorf. Außerdem ist die Universität mit den Buslinien 445, 447 und 462 zu erreichen. Eine Fahrplanauskunft findet sich auf der Homepage des Verkehrsverbundes Rhein-Ruhr, außerdem bieten die Verkehrsbetriebe DSW21 einen interaktiven Liniennetzplan an.

Mit dem Auto

Der Campus der Technischen Universität Dortmund liegt in der Nähe des Autobahnkreuzes Dortmund West, wo die Sauerlandlinie A45 den Ruhrschnellweg B1/A40 kreuzt. Die Abfahrt Dortmund-Eichlinghofen auf der A45 führt zum Campus Süd, die Abfahrten Dortmund-Dorstfeld und Dortmund-Barop auf der A40 zum Campus-Nord. An allen Ausfahrten ist die Universität ausgeschildert. Navigationssysteme sollten die Adresse Friedrich-Wöhler-Weg 4 finden. Ausreichend Parkmöglichkeiten finden sie an der Otto-Hahn-Str. 4.

Mit dem Flugzeug

Vom Flughafen Dortmund aus gelangt man mit dem AirportExpress innerhalb von gut 20 Minuten zum Dortmunder Hauptbahnhof und von dort mit der S-Bahn zur Universität. Ein größeres Angebot an internationalen Flugverbindungen bietet der etwa 60 Kilometer entfernte Flughafen Düsseldorf, der direkt mit der S-Bahn vom Bahnhof der Universität zu erreichen ist.

Die H-Bahn

Zu den Wahrzeichen der TU Dortmund gehört die H-Bahn. Linie 1 verkehrt im 10-Minuten-Takt zwischen Dortmund Eichlinghofen und dem Technologiezentrum über Campus Süd und Dortmund Universität S, Linie 2 pendelt im 5-Minuten-Takt zwischen Campus Nord und Campus Süd. Diese Strecke legt sie in zwei Minuten zurück.

Lageplan & interaktive Karte

Die Einrichtungen der TU Dortmund verteilen sich auf den größeren Campus Nord und den kleineren Campus Süd. Zudem befinden sich einige Bereiche der Hochschule im angrenzenden Technologiepark sowie in der Innenstadt und im weiteren Stadtgebiet.

> Zur interaktiven Karte

ServicePortal UniMail

Kontrast English

Lageplan & interaktive Karte

> Zur interaktiven Karte

ServicePortal UniMail

zurück zu Vorlesungen

Vorlesung

Mikrostrukturtechnik

Master ET/IT, Bachelor/Master BIW, Bachelor/Master CIW
Wahlpflichtmodul im SoSe

Vorlesungsinhalte

Basistechnologien der Mikrostrukturtechnik
Vakuumtechnik
Beschichtungstechniken
Ätztechniken
Lithographieverfahren
Silizium-Mikromechanik
LIGA -Technik
Aufbau und Verbindungstechniken

Literatur

Empfohlene Voraussetzungen (nur für ET/IT)

Grundlagen der Elektrotechnik, Halbleiterbauelemente und Werkstoffe

Prüfungsleistung

Erfolgreiche Teilnahme an der Klausur

                            
            5
        
                                Leistungspunkte (ET/IT)