Zum Inhalt
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Vorlesung

Mikrostrukturtechnik

  • Master ET/IT, Master BCI, Bachelor BCI
  • Wahlpflichtmodul im SoSe

Vorlesungsinhalte

  1. Basistechnologien der Mikrostrukturtechnik
  2. Vakuumtechnik
  3. Beschichtungstechniken
  4. Ätztechniken
  5. Lithographieverfahren
  6. Silizium-Mikromechanik
  7. LIGA -Technik
  8. Aufbau und Verbindungstechniken

Literatur

Voraussetzungen (nur für ET/IT)

Grundlagen der Elektrotechnik, Halbleiterbauelemente und Werkstoffe

Prüfungsleistung

Erfolgreiche Teilnahme an der Klausur