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Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Vorlesung

MEMS Sensoren

  • Bachelor ET/IT, Bachelor IKT
  • Wahlpflichtmodul im SoSe

Vorlesungsinhalte

  1. Physikalische & chemische Grundlagen von Sensoren
  2. Mikrosystemtechnische Herstellungsmethoden
  3. Sensoren für Druck, Temperatur, Kraft, Drehmoment, Füllstand, Fluss, Strahlung, Partikel-messtechnik, Gase und Flüssigkeiten
  4. Sensornetzwerke–Netzwerktopologien, Übertragungsprotokolle, Systemtechnik

Literatur

Voraussetzungen

Grundlagen der Physik

Prüfungsleistung

Erfolgreiche Teilnahme an der Klausur