MEMS Sensoren
- Bachelor ET/IT, Bachelor IKT
- Wahlpflichtmodul im SoSe
Vorlesungsinhalte
- Physikalische & chemische Grundlagen von Sensoren
- Mikrosystemtechnische Herstellungsmethoden
- Sensoren für Druck, Temperatur, Kraft, Drehmoment, Füllstand, Fluss, Strahlung, Partikel-messtechnik, Gase und Flüssigkeiten
- Sensornetzwerke–Netzwerktopologien, Übertragungsprotokolle, Systemtechnik
Literatur
- Tränkler, Reindl, Sensortechnik - Handbuch für Praxis und Wissenschaft
- Göpel, Hesse, Zemel, Sensors - A Comprehensive Survey
- de Silva, Sensor Systems: Fundamentals and Application
Voraussetzungen
Grundlagen der Physik
Prüfungsleistung
Erfolgreiche Teilnahme an der Klausur


