Masterarbeit
Simulation von Mikrosensoren
Damit chemische Sensoren der nächsten Generation in neuen Anwendungen zum Einsatz kommen können, ist ihre verlässliche Herstellung mit Hilfe der Mikro- und Nanosystemtechnik eine Grundvoraussetzung. An der Professur Sensorik werden dafür alle gängigen und auch neue Technologien zum Bau von Mikrosystem und der Integration von Nanotechnologien genutzt. Dabei wird die gesamte Kette von der Simulation über die Herstellung bis zur Charakterisierung und dem System’s Engineering gelehrt. Ein Fokus liegt auf neuen Anwendungen von Micro-Hotplates zur Detektion von Spurengasen.
Ziel der Arbeit
Im Rahmen der Abschlussarbeit wird eine neue Generation von Micro-Hotplates simuliert. Dabei soll der Zusammenhang zwischen mechanischen, elektrischen, thermischen und optischen Eigenschaften untersucht werden, um die Eigenschaften des Mikrosystems zu verstehen und seine Performance für Anwendungen in der Chemosensorik zu optimieren. Zudem sollen die notwendigen Technologieschritte definiert werden.
Betreuung
Die Arbeit wird vom Team der Professur Sensorik betreut und interessierte Kandidat*innen wenden sich für weitere Fragen bitte an: