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Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Masterarbeit

Herstellung von Mikrosensoren

Damit chemische Sensoren der nächsten Generation in neuen Anwendungen zum Einsatz kommen können, ist ihre verlässliche Herstellung mit Hilfe der Mikro- und Nanosystemtechnik eine Grundvoraussetzung. An der Professur Sensorik werden dafür alle gängigen und auch neue Technologien zum Bau von Mikrosystem und der Integration von Nanotechnologien genutzt. Dabei wird die gesamte Kette von der Simulation über die Herstellung bis zur Charakterisierung und dem System’s Engineering gelehrt. Ein Fokus liegt auf neuen Anwendungen von Micro-Hotplates zur Detektion von Spurengasen.

Ziel der Arbeit

Im Rahmen der Abschlussarbeit soll eine neue Generation von Microhotplates im Reinraum der Professur Sensorik hergestellt und anschließend charakterisiert werden. Dabei kommen alle gängigen Technologien zur Herstellung von Mikrosystemen zum Einsatz, u.a. Photolithographie, PVD, naßchemisches Ätzen, Trockenätzen, sowie Aufbau- und Verbindungstechnik. Im Anschluss soll die Systemperformance ermittelt werden.

Betreuung

Die Arbeit wird vom Team der Professur Sensorik betreut und interessierte Kandidat*innen wenden sich für weitere Fragen bitte an: