Masterarbeit
Entwicklung photoakustischer Sensoren
Der Nachweis von Gasen ist in vielen Bereichen beispielsweise auch unter Aspekten der Sicherheit von hoher Relevanz. Um engmaschige Messungen mit einer guten Ortsauflösung zu ermöglichen, sind entsprechende genaue, spezifische und auch kostengünstige Sensoren relevant.
Eine schnelle Reaktion der Sensoren auf wechselnde Gaskonzentrationen ist ebenfalls von großer Relevanz. Für die Erfüllung dieser Anforderungen eignen sich Sensoren, die mit spektroskopischen Verfahren Messungen durchführen.
Ziel der Arbeit
Es besteht das Ziel, einen Sensoraufbau und auch einen Sensor zu entwickeln, der mit optischen Methoden eine Gasmessung basierend auf dem photoakustischen Effekt durchführen kann. Dafür sollen alle notwendigen Bestandteile und Komponenten, die für eine Messung mit dem photakustischen Effekt notwendig sind, in einem Chip integriert werden. Dieser Chip soll in dem Reinraumbereich der Professur Sensorik hergestellt werden.
Dabei sind Bestandteile der Abschlussarbeit die Entwicklung des Sensordesigns, die Entwicklung und auch Durchführung der notwendigen Prozessschritte im Reinraum. Zu den notwendigen Reinraumprozessen zählen unter anderem beispielsweise das Aufbringen eine Photolacks, die anschließende Belichtung und Entwicklung des Lacks, Ätzprozesse und auch das Abscheiden von neuen Schichten. Anschließend soll der hergestellte Sensor charakterisiert und untersucht werden.
Betreuung
Die Arbeit wird vom Team der Professur Sensorik betreut und interessierte Kandidat*innen wenden sich für weitere Fragen bitte an: