Masterarbeit
Entwicklung einer Hotplate und Entwicklung von Sensoren
MOX Sensoren können in vielen Bereichen eingesetzt werden, um einen spezifischen und genauen Nachweis von Gasen zu ermöglichen. Beispielsweise ist die Detektion von Spurengasen eine relevante Anwendung. Bei dieser Art von Sensoren ist es notwendig, die Temperatur des gasempfindlichen Bereichs ändern zu können, um Messungen durchführen zu können. Relevant ist es hierbei, diese Temperaturänderungen möglichst präzise und schnell durchführen zu können, wobei die thermische Isolation des Sensors gegenüber der Umgebung einen wesentlichen Einfluss auf die mögliche Frequenz der Temperaturänderungen und auch auf den Energiebedarf hat.
Ziel der Arbeit
Das Ziel der Arbeit ist die Entwicklung eines beheizbaren Sensors in Form einer Interdigitalstruktur mit einer Heizerstruktur (Hotplate).
Im Rahmen der Abschlussarbeit sollen dafür die notwendigen Prozesse im Reinraum der Professur Sensorik verwendet und für die Entwicklung der Hotplate weiterentwickelt und angepasst werden. Unter anderem sollen dabei Reinraumprozesse wie das Aufbringen eines Photolacks, die Belichtung und Entwicklung des Lacks und Ätzprozesse verwendet werden. Auch das Abscheiden neuer Schichten ist ein Bestandteil der Herstellung der Hotplates.
Ein weiterer Bestandteil der Arbeit ist die anschließende Charakterisierung der entwickelten Hotplates und Sensorstrukturen.
Betreuung
Die Arbeit wird vom Team der Professur Sensorik betreut und interessierte Kandidat*innen wenden sich für weitere Fragen bitte an: